• Магазин работ
Заказать работу
Закрыть
  • Реферат
  • Курсовая
  • Дипломная
  • Контрольная
  • Отчет
  • Доклад
  • Учебник
  • Шпаргалка
  • Эссе
  • Монография
  • Главная
  • Физика
  • Методы напыления тонких пленок, приенение установки ВУП-5

Написание работы на заказ

* * *
*
Укажите дату
*
Еще один
* Укажите Ваш email
+ * Укажите номер телефона

Оформление заявки бесплатно и ни к чему Вас не обязывает

Курсовая:
Тема:

Методы напыления тонких пленок, приенение установки ВУП-5

Предмет:

Физика

Страниц: 18
Автор: Игорь
Цена:
1640  руб.
Образцы для исследования в просвечивающем электронном микроскопе могут быть приготовлены как непосредственно из материала исследуемого объекта, так и из материала, отличного от материала объекта. В первом случае анализ электроннограмм и дифракционного контраста на изображении дает непосредственную информацию о кристаллической структуре объекта. Тонкие образцы для таких исследований готовятся с помощью следующих методик:
получение тонких срезов на ультрамикротоме;
утончение объектов химической полировкой или ионной бомбардировкой;
напыление пленок термическое испарение, катодное распыление, газотранспортные реакции и т.д.
разбрызгивание и высушивание (для порошков и суспензий).
Тонкие пленки представляют собой слой какого-либо материала толщиной от 10 до 10000А. Они различаются по своим физическим и химическим свойствам: эпитаксиальные монокристаллические и аморфные, проводящие и диэлектрические, органические и неорганические. Под эпитаксиальной пленкой обычно понимают монокристаллический слой, выращенный на монокристаллической подложке с которой он имеет определенное кристаллографическое соответствие. Эпитаксиальные монокристаллические пленки обычно содержат дефекты, такие, как дислокации, дефекты упаковки, двойники и субструктуры. Когда верхний слой того же состава, что и подложка, его называют гомоэпитаксиальным, если же верхний слой другого состава, то он называется гетероэпитаксиальным. Аморфные тонкие пленки обладают либо структурой типа беспорядочной сетки, либо беспорядочной плотноупакованной структурой.
В данной работе будет рассмотрен метод напыления тонких пленок термическим испарением на установке ВУП-5.
Содержание

Введение 2

Термическое (вакуумное) напыление 3

Катодное напыление 5

Ионная бомбардировка 7

Ионно-плазменное напыление 9

Анодирование 11

Электрохимическое осаждение 12

ВУП-5, технические характеристики 13

Трансмиссионная электронная микроскопия 15

Заключение 17

Литература 1
1. Технология тонких пленок. Справочник, под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга, пер. с англ., т. 1-2, М., 1977;
2. Плазменная металлизация в вакууме, Минск, 1983;
3. Черняев В.Н., Технология производства интегральных микросхем и микроциклоров, 2 изд., М., 1987;
4. Волков С. С., Гирш В. И., Склеивание и напыление пластмасс, М., 1988;
5. Коледов Л. А., Технология и конструкция микросхем, микроциклоров и микросборок, М., 1989. Л. А. Коледов.
6. Шиммель Г., Методика электронной микроскопии, пер. с нем., М., 1972
Курсовая защищена на отлично.

Оценка работы: (4 / 5, голосов: 5)
Тема работы
Стоимость
Страниц
Тип
ВУЗ, город
Заказать
549 руб.
25
Реферат
Москва
Заказать
549 руб.
11
Реферат
Москва
Заказать
549 руб.
27
Реферат
ЮРГТУ (Новочеркасск)
Заказать
549 руб.
8
Реферат
Каменский филиал ЮРГТУ (Каменск-Шахтинский)
Заказать
На нашей странице вы можете купить работу "Методы напыления тонких пленок, приенение установки ВУП-5". Все наши работы проверены и получили оценки не ниже отлично.